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赫爾納供應德國microchemicals蝕刻劑

更新時間:2023-08-10

訪問量:4059

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
赫爾納供應德國microchemicals蝕刻劑25° C 時的蝕刻速率約為每分鐘 0.3-0.4 µm。我們建議在 8-16% (30%) 的存在下執(zhí)行蝕刻過程。如果不添加過氧化氫,蝕刻速率會顯著降低且不均勻。
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公司簡介:

我們的光刻膠、溶劑、蝕刻化學品、晶圓和電鍍電解液的產(chǎn)品范圍外,我們努力在我們的支持下,作為我們產(chǎn)品的用戶,使您在潔凈室中的工作盡可能高效,我們的集裝箱尺寸。

microchemicals蝕刻劑主要產(chǎn)品:

microchemicals蝕刻劑

microchemicals光刻膠

microchemicals蝕刻劑產(chǎn)品型號:

TiW etch 200

TechniEtchCN10

microchemicals蝕刻劑產(chǎn)品特點:

清漆:商業(yè)酚醛清漆作為遮蔽清漆(例如 AZ ®光致抗蝕劑)

金屬:蝕金、鉻、鎳;銅

半導體材料:Si、SiO2Si3N4

低底切(在層厚范圍內(nèi)),結(jié)構(gòu)分辨率低于1μm

對許多材料具有選擇性,包括電鍍金屬

與油漆掩模兼容

microchemicals蝕刻劑產(chǎn)品應用:

microchemicals蝕刻劑TiW etch 200是一種鈦鎢蝕刻劑,用于鈦鎢合金層的濕化學結(jié)構(gòu)化,對金、鉑、鎳、鉻等金屬具有選擇性。常見的應用領(lǐng)域可以在半導體和微系統(tǒng)技術(shù)的粘合層結(jié)構(gòu)中找到。銅鎳蝕刻液堅硬和耐腐蝕的金屬,在顯微結(jié)構(gòu)中經(jīng)常被用作基體和成長的金屬層之間的厚度層。作為硅基底和鋁基底之間的分水嶺,它是阻止硅在 Alzur 中滲透的屏障。鋁尖峰是指鋁從中分離出來的硅回到空氣中,由此產(chǎn)生的短路。

microchemicals蝕刻劑TechniEtchCN10是一種由硝酸和磷酸組成的銅和鎳蝕刻溶液。25° 時的蝕刻速率約為每分鐘 0.3-0.4 µm。我們建議在 8-16% (30%) 的存在下執(zhí)行蝕刻過程。如果不添加過氧化氫,蝕刻速率會顯著降低且不均勻。microchemicals蝕刻劑蝕刻速率取決于鈦沉積工藝和所得的晶體結(jié)構(gòu)。正電阻、負電阻和反轉(zhuǎn)電阻在正性抗蝕劑的情況下,曝光區(qū)域由于在那里形成茚羧酸而變得可溶于顯影劑。由于正性抗蝕劑不會交聯(lián),超過其軟化點(約 100-130°C)會導致抗蝕劑輪廓變圓。

microchemicals蝕刻劑AZ ® nLOF 2000 系列或AZ ® 15nXTAZ ® 125nXT等負性抗蝕劑通過后續(xù)烘烤步驟(對于AZ ® 125nXT則不需要)在曝光區(qū)域中交聯(lián),并保留在曝光區(qū)域中。顯影后的基材。microchemicals蝕刻劑室溫下銅的蝕刻速率通常約為 至 3.5 μm/min。只有添加氨來穩(wěn)定 pH 值,蝕刻溶液才能連續(xù)運行(氨會隨著時間的推移而逸出,具體取決于循環(huán)條件)。如果不進行跟蹤,蝕刻液會提前耗盡。銅產(chǎn)量為 30 至 50 /升。microchemicals蝕刻劑建議遲在蝕刻速率降低20%或蝕刻時間延長不符合規(guī)范時丟棄該溶液。

microchemicals蝕刻劑Cu etch 200 UBM是一種中性(弱堿性)銅蝕刻劑,用于濕式化學去除銅層,作為電鍍開始,對 Ni、AuCr、Sn、Ti 等金屬具有選擇性。適用于半導體和微系統(tǒng)技術(shù),例如,在電鍍銅后去除起始層以進行凸塊下金屬化 (UBM) 時。40°時的蝕刻速率通常為 10 至 15 nm/min,RT 時的蝕刻速率相應較低。在室溫下,約 180 秒即可結(jié)構(gòu)化/去除 30 納米厚的鉻層。microchemicals蝕刻劑蝕刻液穩(wěn)定,可根據(jù)要求多次使用。蝕刻混合物集中于Ti、TiWTiNCu凸塊柱的連接,以自行混合。microchemicals蝕刻劑TechniEtch™ TBR19 濃縮物與大多數(shù)凸塊下金屬化 (UBM) 和銅柱集成材料兼容,例如銅、鋁、鎳、玻璃、有機基板和許多塑料,例如聚丙烯、HDPE、PFAKalrez PTFE、PEEK 和 PE。50℃時的蝕刻速率約為1000A/min。microchemicals蝕刻劑在高溫下,也能防止油漆輪廓變圓。然而,在高工藝溫度下,熱交程度會增加到濕化學剝離變得困難。

 

 



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